超純水是相對性于純水來講的，肯定純粹的水里僅有水分（H2O），氫、氧二種原素，此類水不導電性。

超純水是現階段人為因素能制取的貼近肯定純水的水，現階段能夠做到的超純水的大電阻器是18.2MΩ。一般飲用水因其帶有多種多樣正離子、通電膠體溶液以及它帶正電荷的雜質，而促使水導電性。在生產制造行業，許多加工工藝都對水里雜質成分及類型有一定的限定，因而，超純水的定義在工業生產行業發生較早。

膜解決方式 發生之后，超純水的發展趨勢進到一個新的時期。膜解決方式 包含很多種多樣，例如微濾（MF）、鈉濾（NF）、超濾膜（UF）、ro反滲透（RO）、滲析（D）、電滲析（ED）、添充床電滲析（EDI）、汽體分離出來（GS）、滲入氣化（PVAP）、乳化油膜（ELM）等。在其中GS、PVAP、ELM在水處理之中運用較少，D、ED的方式 因為有其本身局限，如今運用也較為少，現階段滲析在醫療行業也有一定的運用，但在水處理之中應用較少。